洁净车间净化工作原理为当控制器接通电源时，油雾分离器口产生强大的静压迫使油雾被定向吸入油雾分离器内。在油雾分离器内风轮的作用下发生碰撞，使微小的颗粒集合成能被控制的小颗粒，在高效吸雾材料的阻挡下实现空气与水的分离。

    因此，当洁净车间相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。高湿度实际上减小了洁净车间表面的静电荷积累，较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。

    相对湿度在35%到40%之间可可谓是一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。洁净车间净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造，地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

    很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在洁净车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。一些金属，比如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应。但还有另一种情况是不具有保护能力的，例如氧化铜，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。

    总之，洁净车间湿度的控制主要在于其生产工艺的要求，所以厂家对洁净车间的湿度做出严格要求是很有必要的。